光電直讀光譜儀的故障排除，應首先盡量了解各模塊功能，以至各模塊內部部件的功能。按照如下三條線索，把儀器的硬件在腦中串成網絡：
一、信號線路：從激發臺上樣品發光開始，到電腦軟件中顯示出各元素含量為止，了解樣品發光的光信號在儀器中各部件的先后經過和轉化的順序，以及每個部件的簡單功能。
二、控制線路：了解計算機中的命令對儀器當中各個受控部件的影響，以及命令的傳輸途徑，途徑中每個部件的作用。
三、供電網絡：了解儀器當中所有用電部件所需的準確電壓、電流、功率等詳細參數、知道儀器用電從儀器總供電插座開始，各部件的用電如何產生、調節和傳輸。
一般情況下，盡量列出信號線路中各部件正常工作所需條件，如：本身無損毀，位置無漂移，控制命令傳輸正常，供電正常，另外還有外部溫度、濕度等是否符合要求等。
在詳細了解以上情況后，一般情況下，在出現故障時，需首先在信號線路中，找到不能正常工作的模塊（每個模塊是否能正常工作均有檢查方法），然后檢查該模塊中的信號線路經過部件本身是否狀態正常（損毀、位置偏移），受控部件的控制命令傳輸是否暢通，用電部件的供電是否正常來確定故障點，以至排除問題。
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